結構特點 Features
316L 不銹鋼母體
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安裝和后座安裝
壓力表標準連接： 1/4” FSR(M)
可選：1/4” FSR (F)
內部電解拋光
高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業
使用壽命長
100% 氦氣測試
材質 Materials
母體：316L
閥座：PCTFE*，Vespel®
膜片：316L
上蓋：316
功能特性 Functional Performance
流量：Cv=0.14
母體泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
閥座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
設計驗證壓力：最大額定壓力的 150%
設計爆破壓力：最大額定壓力的 400%
工作條件 Operating Conditions
最大的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口壓力：
0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
0-500 psi (35 bar)
溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
標準：Ra 20μin
可選：Ra 10μin
內部容積 Internal Volume
4.6 cc
